1 范圍

      本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)企業(yè)防塵防毒的技術(shù)要求、措施和管理。

      本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的工程技術(shù)和管理防范，也適用于安全生產(chǎn) 和職業(yè)病危害監(jiān)督管理部門對電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程中粉塵、毒物危害的監(jiān)督。

2 規(guī)范性引用文件

      下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時，所示版本均 為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。

      GB 8958 缺氧危險作業(yè)安全規(guī)程

      GB 11651 勞動防護用品選用規(guī)則

      GB 11984 氯氣安全規(guī)程

      GB 15603 常用化學(xué)危險品貯存通則

      GB/T 16758 排風(fēng)罩的分類及技術(shù)條件

      GB 17916 毒害性商品儲藏養(yǎng)護技術(shù)條件

      GB 50019 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范

      GB 50073 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

      GBZ 1 工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

      GBZ 2.1 工業(yè)場所有害因素職業(yè)接觸限值 化學(xué)有害因素

      GBZ 158 工作場所職業(yè)病危害警示標(biāo)識

      AQ/T 9002 生產(chǎn)經(jīng)營單位安全生產(chǎn)事故應(yīng)急預(yù)案編制導(dǎo)則

      SJ 30002 電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定

3 總則

3.1 為了有效地控制電子工業(yè)企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的粉塵、毒物危害因素，改善作業(yè)場所環(huán)境條件，保障 職工身體健康，促進生產(chǎn)發(fā)展，特制定本標(biāo)準(zhǔn)。

3.2 電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒應(yīng)堅持預(yù)防為主、防治結(jié)合、源頭控制、過程可控、綜合治理的原則，優(yōu) 先選擇塵毒危害小的工藝和設(shè)備，積極采用無毒或低毒原（輔）料，以無毒代替有毒、以低毒代替高毒，并 對塵毒危害進行綜合治理，使其危害控制符合GBZ 2.1要求。

3.3 電子工業(yè)生產(chǎn)過程防塵防毒工作應(yīng)持續(xù)改進，不斷降低作業(yè)場所塵毒物質(zhì)濃度。

3.4 電子工業(yè)企業(yè)建設(shè)項目中產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)過程和設(shè)備應(yīng)設(shè)置防塵防毒設(shè)備設(shè)施，且與主體工 程同時設(shè)計、同時施工、同時投入生產(chǎn)和使用。

4 生產(chǎn)工藝基本要求

4.1 電子工業(yè)企業(yè)應(yīng)對整個生產(chǎn)過程中的粉塵、毒物危害進行辨識和評估，明確所有產(chǎn)生粉塵、毒物的 作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備及原（輔）料、中間產(chǎn)品、副產(chǎn)品，并建立職業(yè)衛(wèi)生檔案。

4.2 產(chǎn)生粉塵、毒物的作業(yè)場所、工藝過程、設(shè)備設(shè)施在設(shè)計時應(yīng)符合GBZ 1中第5.1節(jié)以及 SJ 30002的要求。

4.3 防塵防毒設(shè)備設(shè)施應(yīng)保證作業(yè)場所中有害物質(zhì)濃度符合GBZ 2.1的要求。在廠房氣象條件、潔 1 凈度要求與防塵防毒措施有矛盾時，應(yīng)采取其他措施，保證作業(yè)人員健康。

4.4 下列工藝過程可能產(chǎn)生粉塵、毒物危害，應(yīng)采取綜合治理措施：

      a）半導(dǎo)體器件（或集成電路）生產(chǎn)中的外延、氧化擴散、化學(xué)氣相沉積、離子注入、腐蝕、清洗、刻 蝕、濺射、塑封等工序。

      b）真空器件零件清洗、陰極熱絲制備、涂屏、充汞等。

      c）陶瓷料、玻璃料、磁性材料、塑料等材料的破碎、配制、加工工藝等。

      d）鑄造、熱處理、電火花加工、磨削加工、化學(xué)處理、電鍍、噴砂、油漆、涂裝工藝等。

      e）鉛蓄電池等含鉛生產(chǎn)工藝。

      f）電阻、電容等元件生產(chǎn)及印刷電路板（PCB）生產(chǎn)。

      g）電子裝聯(lián)工藝中的焊接、三防、固封工序等。

4.5 當(dāng)作業(yè)場所空氣中的塵、毒在技術(shù)上較難控制時，宜采取以下措施：

      a）設(shè)置密閉操作室，保證新鮮空氣供應(yīng)量不少于每人30 m³/h。

      b）采用送風(fēng)面具或崗位送風(fēng)。

      c）送入空氣應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的要求。

4.6 在選擇生產(chǎn)工藝時，設(shè)計者和設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供粉塵、毒物產(chǎn)生情況說明及控制措施技術(shù)文件，原（輔）料供應(yīng)者應(yīng)提供原（輔）料塵、毒危害技術(shù)說明文件、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)文件等。上述文件均應(yīng)存檔。

5 生產(chǎn)廠房

5.1 選址

      生產(chǎn)廠房應(yīng)選擇在環(huán)境空氣質(zhì)量、氣象條件符合職業(yè)安全衛(wèi)生要求、環(huán)境較為清潔的地區(qū)。

5.2 布局

5.2.1 廠區(qū)應(yīng)合理布局，減少粉狀物料的運輸距離及中轉(zhuǎn)次數(shù)，避免不合理的交叉和重復(fù)運輸。

5.2.2 產(chǎn)生塵毒危害的生產(chǎn)區(qū)宜集中布置在廠區(qū)夏季最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，且地勢開闊、通風(fēng)條件良好的地段。

5.2.3 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)部布置應(yīng)避免塵毒的交叉污染。

5.2.4 產(chǎn)生塵毒危害的工序或工作區(qū)（間）若在同一建筑物內(nèi)，宜集中在靠近夏季最大頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)的外墻布置，應(yīng)與其他工序或工作區(qū)（間）可靠地隔開。

5.2.5 有毒物質(zhì)、粉料輸送管道宜集中布置形成管廊，且管廊不宜設(shè)置在人員集中區(qū)域周邊。有毒物質(zhì)、粉料輸送管道不應(yīng)穿越辦公室、休息室、宿舍、人員密集廠房、餐廳、經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通 廊）等建筑物。

5.2.6 密閉廠房進氣口的位置不應(yīng)設(shè)置在有毒、粉塵物質(zhì)排放口污染影響區(qū)域內(nèi),且應(yīng)保證在最不利氣象條件下進氣口不受到排放口有毒、粉塵物質(zhì)的影響。

5.3 建（構(gòu)）筑物

5.3.1 廠房結(jié)構(gòu)應(yīng)充分考慮防塵防毒的要求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠高度以布置管道，且有利于清除積塵。粉塵污染嚴(yán)重的廠房，應(yīng)留有真空清掃機具行走的通道。

5.3.2 使用、產(chǎn)生劇毒物質(zhì)的作業(yè)場所，其墻壁、頂棚和地面等內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面，應(yīng)采用不吸收、不吸附 毒物的材料，宜加設(shè)保護層以便清洗。車間地面應(yīng)平整、防滑、易于清掃。經(jīng)常有積液的地面應(yīng)做防水 處理并設(shè)置坡向排水系統(tǒng)。

5.3.3 對于多層廠房，產(chǎn)生有害氣體的場所宜布置在建筑物的上層。如必須布置在下層時，應(yīng)采取安裝有效通風(fēng)、防毒設(shè)備設(shè)施等措施，以防止對上層作業(yè)環(huán)境造成不良影響。

5.3.4 潔凈廠房采用的室內(nèi)裝修材料，其有害物質(zhì)散發(fā)量應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定，不宜使用對人身體有害的石棉類建筑材料。

6 工程技術(shù)措施

6.1 材料儲存與運輸

6.1.1 采用自動化設(shè)備，實現(xiàn)物料的自動裝載、泄漏檢測、連鎖控制，以避免或減少有害物質(zhì)的散發(fā)。

6.1.2 采用密閉性好的輸送裝置，如氣力輸送、斗式提升機、螺旋輸送機、溜管、溜槽等。

6.1.3 改進工藝，減少粉、粒料的中轉(zhuǎn)環(huán)節(jié)，縮短輸送距離。

6.1.4 減少散裝粉、粒料轉(zhuǎn)運點的落差高度，并對落料點采取密閉、負(fù)壓等措施。

6.1.5 經(jīng)常有人來往的通道（含地道、通廊），應(yīng)有自然通風(fēng)或機械通風(fēng)，不應(yīng)敷設(shè)有毒液體或有毒氣體 管道。

6.1.6 對塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)采取下列防范措施：

      a）在工作區(qū)內(nèi)裝卸散裝的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、黏土等粉、粒料，不宜使用抓斗吊車、翻斗 車及卡車。允許灑水降塵的裝卸區(qū)域，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施，灑水設(shè)施應(yīng)保證冬季的正常使用。

      b）有毒物品應(yīng)儲存在專門的場所、庫房中，其貯存條件、貯存方式、貯存限量應(yīng)符合GB 15603、 GB 17916的規(guī)定。

      c）儲存氣態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置有效的氣體排放應(yīng)急處理設(shè)施，以避免發(fā)生毒氣泄漏事故時 造成毒氣擴散。相互抵觸的氣態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分室儲存，并有可靠措施避免泄漏時發(fā)生 反應(yīng)。

      d）儲存液態(tài)有毒物質(zhì)的場所應(yīng)設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希?，圍堰的容積應(yīng)不小于最大單罐地上部分 儲量。從圍堰或?qū)Я鞑郏希┮龅呐潘ㄅ盼郏┕埽希?yīng)匯集到專用的污水池。相互抵觸的液 態(tài)物質(zhì)儲存容器應(yīng)分別設(shè)置圍堰或?qū)Я鞑郏希⑴潘ㄅ盼郏┕埽希?、污水池，并有可靠措施?免同時發(fā)生泄漏時散發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。

      e）存放粉粒狀或毒性材料的容器，應(yīng)具有良好密閉性和耐蝕性。

      f）磷烷、砷烷、硼烷、硅烷、三氯化硼、四氟甲烷等有毒特種氣體的儲存間和配送管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置 在線氣體檢測報警裝置并與事故排風(fēng)及廢氣處理裝置連鎖。氦氣、六氟化硫等窒息性特種氣 體儲存間和配送管道廊內(nèi)應(yīng)設(shè)置在線氧氣檢測報警裝置并與新鮮空氣送風(fēng)裝置連鎖。

      g）儲存和使用氰化物、砷化物等劇毒物品的庫房、工作間，其墻壁、頂棚和地面應(yīng)采用不吸附毒物 的材料，并便于清洗和收集。室內(nèi)管線宜暗敷。分發(fā)毒物處應(yīng)設(shè)置洗滌池和通風(fēng)柜。

      h）液氯罐儲存間應(yīng)設(shè)置在線氯氣報警裝置并與事故排風(fēng)及廢氣處理裝置連鎖，排放系統(tǒng)吸氣口 位置應(yīng)靠近地面。儲存間內(nèi)應(yīng)設(shè)置起重設(shè)備及稀堿液池，其深度應(yīng)能浸沒液氯罐，或配備氯氣 捕消器，并符合GB 11984的要求。

      1）危險化學(xué)品在潔凈廠房內(nèi)的運輸、儲存、分配，應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定。

      j）對上述條款中未包括的塵、毒物品的運輸、儲存、分配應(yīng)參照有關(guān)規(guī)范、條文要求，采取相應(yīng)的 防范措施。

6.2 工藝與設(shè)備

6.2.1 生產(chǎn)工藝與設(shè)備宜采取密閉（整體密閉、局部密閉或小室密閉）或負(fù)壓方式工作。不能密閉時， 應(yīng)設(shè)置排風(fēng)罩。

6.2.2 在生產(chǎn)設(shè)備合理密閉和通風(fēng)的基礎(chǔ)上宜采取隔離、遙控操作。

6.2.3 生產(chǎn)線上的單臺通風(fēng)系統(tǒng)工藝設(shè)備宜集合成密閉的工藝系統(tǒng)。

6.2.4 對存在劇毒且難以消除其危害的工藝過程，應(yīng)通過采取全自動化生產(chǎn)或遙控操作等措施，實現(xiàn) 人與危害現(xiàn)場的隔離。

6.2.5 生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的劇毒氣體應(yīng)進行機旁無害化處理后再排入公共排氣管道系統(tǒng)。

6.3 操作

6.3.1 密閉空間進行檢修時，應(yīng)為檢修人員配備符合要求的個人防護用品，并配備現(xiàn)場監(jiān)護人員。

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